●晶圓定位及缺陷檢測(cè) ●濾光片表面缺陷檢測(cè) ●Mark點(diǎn)定位 ●同軸鏡頭檢測(cè)專(zhuān)用光源 ●高速檢測(cè)場(chǎng)合使用
標(biāo)準(zhǔn)光源
點(diǎn)光源SP系列
點(diǎn)光源SP系列
點(diǎn)光源為頂端直徑為8mm、發(fā)光面直徑為6mm,可配合顯微鏡頭或帶同軸的遠(yuǎn)心鏡頭使用
詳細(xì)介紹
●晶圓定位及缺陷檢測(cè) ●濾光片表面缺陷檢測(cè) ●Mark點(diǎn)定位 ●同軸鏡頭檢測(cè)專(zhuān)用光源 ●高速檢測(cè)場(chǎng)合使用